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Zygo干涉仪和Michelson干涉仪都是利用干涉现象进行精密测量的光学仪器，但它们的工作原理有所不同。
Zygo干涉仪的原理：它采用一种称为白光干涉的干涉技术，这种技术利用单色相干光干涉的基本原理，将一束光分成两束后相遇产生干涉现象，Zygo干涉仪使用白光作为光源，通过干涉仪内部的特殊光学元件将白光分解成光谱成分，并在不同波长上产生干涉条纹，这些条纹经过成像系统被记录下来，用于测量和分析样品的表面形貌、光学性能等参数，Zygo干涉仪具有高精度和高分辨率的特点，广泛应用于光学制造、精密测量等领域。
Michelson干涉仪的原理：它是一种利用分振幅干涉原理的仪器，它将光源发出的光分为两束后相遇形成干涉现象，通过观察和记录干涉条纹的变化来测量和分析物体的微小变化，光源发出的光经过干涉仪中的两个反射镜和分光板后分为两束相干光，这两束光在相遇时发生干涉现象，通过调整干涉仪中的反射镜和分光板的位置和角度，可以观察到不同的干涉条纹变化，从而测量和分析物体的微小位移、形变等参数，Michelson干涉仪具有高精度和高灵敏度的特点，广泛应用于物理学、光学等领域的研究和教学。
虽然这两种干涉仪都利用干涉现象进行精密测量，但它们的工作原理和应用领域有所不同，Zygo干涉仪主要利用白光干涉技术测量和分析样品的表面形貌和光学性能等参数，而Michelson干涉仪则主要利用分振幅干涉原理测量和分析物体的微小变化。